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玉崎精品ULVAC愛發(fā)科多級羅茨型干泵GR系列
產(chǎn)品簡介

玉崎精品 GR60 ULVAC愛發(fā)科多級羅茨型干泵GR系列
玉崎精品ULVAC愛發(fā)科多級羅茨型干泵GR系列

產(chǎn)品型號:GR60
更新時間:2025-05-15
廠商性質(zhì):代理商
訪問量:48
詳細(xì)介紹
品牌其他品牌輸送介質(zhì)污水泵、雜質(zhì)泵
泵軸位置邊立式葉輪數(shù)目多級
應(yīng)用領(lǐng)域化工,生物產(chǎn)業(yè),能源,電氣,綜合

玉崎精品ULVAC愛發(fā)科多級羅茨型干泵GR系列

玉崎精品ULVAC愛發(fā)科多級羅茨型干泵GR系列


特點

  • 可應(yīng)用于大氣真空間反復(fù)抽氣的高負(fù)荷領(lǐng)域,可在高負(fù)荷下持續(xù)使用。

  • 適用load lock室(裝載/卸載室),可實現(xiàn)高吞吐量。

  • 感應(yīng)電機可通用

  • 可以安裝防爆電機等特殊電機(可選)

  • 采用多電壓兼容電機

用途

  • 空氣、惰性氣體等潔凈氣體的真空排氣

  • 各種成膜設(shè)備放入取出室的真空排氣

  • 真空干燥,真空氣體置換和真空脫泡等一般產(chǎn)業(yè)

  • 真空氣體置換,如真空熱隔絕和氣體填充

規(guī)格

型號GR60AGR90AGR180A
最大排氣速度50Hzm3/h(L/min)62(1030)112(1860)183(3100)
60Hzm3/h(L/min)80(1333)126(2100)237(3850)
極限壓力 *1Pa5.0
最大排氣壓力(吸入圧力)大氣壓
最大排氣口壓力(排出圧力)Pa1.0 ~ 大氣壓
吸氣口VG50VG80
排氣口NW40
DRP表面處理
電機輸出 [kW]2.23.77.5
電壓 [V]50Hz200~240/380~415
60Hz200~240/380~460
質(zhì)量kg128188268
冷卻方式冷卻水
一次供給壓力
MPa0.1~0.3
冷卻水
出入口壓差
MPa>0.1
冷卻水溫度10~30 *2
冷卻水流量L/min>5.0
氮氣一次側(cè)
供給圧力
MPa0.1~0.5
二次側(cè)
調(diào)整圧力 *3
MPa0.05 to 0.1 (運作時)
SLM5.0 *4

*1 極限壓力是氮氣(軸封氣體)為5.0 SLM時的值。
*2 不結(jié)露。
*3 通過調(diào)節(jié)器調(diào)節(jié)壓力計值。
*4 氮氣(軸封氣體)的流量固定為5.0SLM。

配件

型號材質(zhì)表面處理重量(kg)法蘭接口GR60AGR90AGR180A
消音器RS-01+
套件A
SUS304GBB處理4.1KF40-
RS-01+
套件C
SUS304GBB處理8.3KF40--










排氣速度曲線

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